
天健創(chuàng)新(北京)監(jiān)測(cè)儀表股份有限公司回放
開(kāi)播時(shí)間04-22 13:482025年9月,備受矚目的SEMI-e深圳國(guó)際半導(dǎo)體展暨集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新展在深圳國(guó)際會(huì)展中心圓滿落幕。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的年度盛會(huì),本屆展會(huì)匯聚了從設(shè)計(jì)、制造到設(shè)備材料的全鏈條創(chuàng)新力量,展現(xiàn)了中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在自主可控道路上的堅(jiān)實(shí)步伐。
實(shí)力彰顯:不止于參展,更是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的推動(dòng)者
萊特萊德此次以 “贊助商"與“參展商" 的雙重身份深度參與SEMI-e,不僅是企業(yè)雄厚綜合實(shí)力的體現(xiàn),更彰顯了其致力于推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵配套環(huán)節(jié)技術(shù)進(jìn)步的責(zé)任與擔(dān)當(dāng)。萊特萊德深耕高純水處理領(lǐng)域十余年,已發(fā)展成為一家集技術(shù)研發(fā)、設(shè)備制造、工程集成與售后服務(wù)于一體的技術(shù)企業(yè)。其解決方案已廣泛應(yīng)用于芯片制造、晶圓加工、封裝測(cè)試等眾多關(guān)鍵環(huán)節(jié),與國(guó)內(nèi)外多家頭部半導(dǎo)體企業(yè)建立了長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系,是值得產(chǎn)業(yè)鏈信賴的可靠伙伴。


攻克芯片制造“水"的難題
半導(dǎo)體制造是對(duì)水質(zhì)要求嚴(yán)苛的工業(yè)領(lǐng)域之一,任何微小的雜質(zhì)都可能導(dǎo)致巨大的產(chǎn)品缺陷。萊特萊德憑借其強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力和創(chuàng)新精神,精準(zhǔn)攻克了一系列技術(shù)壁壘:
超高純水(UPW)制備技術(shù):萊特萊德系統(tǒng)整合了多項(xiàng)工藝,如雙膜法(UF+RO)預(yù)處理、電去離子(EDI)技術(shù)、以及硼/硅等痕量雜質(zhì)深度去除工藝。其系統(tǒng)產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定可靠,滿足E-1級(jí)(18.2MΩ·cm) 甚至更苛刻的電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn),為光刻、蝕刻、CMP等核心制程提供可靠保障,直接賦能芯片良率的提升。
工業(yè)廢水回收技術(shù):針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的大量高難度廢水(如CMP研磨廢水、刻蝕廢水、高有機(jī)廢水等),萊特萊德提供高效的分質(zhì)回用與資源化解決方案。通過(guò)特種膜分離、高效MVR蒸發(fā)結(jié)晶、高級(jí)氧化等核心技術(shù),實(shí)現(xiàn)水資源的高比例回收(≥90%),大幅降低新水取用量和排污費(fèi)用。
廢液資源化技術(shù):萊特萊德創(chuàng)新性地將膜技術(shù)與工藝相結(jié)合,能夠從特定的蝕刻廢液、清洗廢液中有效回收有價(jià)值的化學(xué)品(如酸、堿),變廢為寶,在降低客戶原材料成本的同時(shí),也減輕了環(huán)境負(fù)擔(dān),創(chuàng)造了顯著的經(jīng)濟(jì)與環(huán)境效益。
展會(huì)期間,萊特萊德16號(hào)館110號(hào)展位人氣持續(xù)火爆,吸引了眾多晶圓制造、封裝測(cè)試企業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)駐足交流。據(jù)現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)人介紹,展會(huì)三天累計(jì)接待專業(yè)觀眾逾千人次,與十余家企業(yè)達(dá)成初步合作意向,涉及超純水系統(tǒng)升級(jí)、廢水改造等多個(gè)領(lǐng)域。特別在第三代半導(dǎo)體展區(qū),萊特萊德針對(duì)碳化硅/ 氮化鎵器件生產(chǎn)特點(diǎn)定制的腐蝕液處理方案,因能滿足高溫高壓環(huán)境下的水質(zhì)要求,獲得多家器件廠商的高度認(rèn)可。
在本次SEMI-E展會(huì)現(xiàn)場(chǎng),萊特萊德不僅將呈現(xiàn)上述核心技術(shù)模型與成功案例,更安排了技術(shù)專家團(tuán)隊(duì)現(xiàn)場(chǎng)答疑,提供面對(duì)面的技術(shù)交流和個(gè)性化解決方案咨詢。
在"超純水技術(shù)在制程中的應(yīng)用"主題討論中,萊特萊德技術(shù)專家分享了與國(guó)內(nèi)晶圓廠合作的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn),深入解析公司核心技術(shù)在該應(yīng)用中的創(chuàng)新之處。專家與來(lái)訪嘉賓就"如何平衡水質(zhì)純度與運(yùn)營(yíng)成本"、"系統(tǒng)穩(wěn)定性控制"等行業(yè)熱點(diǎn)、難題展開(kāi)熱烈探討,為產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新提供了新思路。
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